非常适合研究和开发！支持从高清绘图到大电流高速绘图的广泛应用

紧凑和高性能，使用 ECR 离子束可以进行纳米级蚀刻和沉积，製品特微。

Φ108mm的大直径光束，通过充分利用光束面内分布监控功能，可以实现各向异性干法蚀刻。

“ENT”系列第五代超显微压痕硬度计，完全在日本制造的纳米压痕测试仪具有友好的 GUI，通过抑制测量环境中的干扰实现高数据再现性。

能够对大样品进行纳米压痕测试的大型模型，允许同时安装高负载和低负载单元的大型框架，可导入各种机构的扩展范围广的屏蔽盒。

通过采用结合空心阳极离子枪和磁控管离子枪的独特新型离子枪，我们实现了超精细结构的薄膜。

业内最大的场地规模！提供业界最大的 5 毫米偏转。 非常适合需要关注字段间拼接错误的应用。

半透镜超高分辨率扫描电子显微镜，加速电压 1kV 时分辨率为 0.7nm，通过半透镜SEM实现形状测量和粗糙度分析。

最大直径为 φ400 mm 的大型圆柱形样品可以直接安装在载物台上，可以进行从电子束观察到超精细 3D 形状测量和使用二次电子的元素分析的复合分析。