◇ 实现1nm以下的超高分辨率、低加速度、3D测量！

通过半透镜SEM实现了形状分析。

通过使用半透镜法进行三维测量，我们实现了低加速度下的超高分辨率。

它在 3D 测量期间以 1 kV 的低着陆电压（对样品的照射电压）保证了在高度方向上 1 nm 的超高分辨率。

可以准确捕捉和分析样品最外表面的精细形状。

◇ SEM视场三维形状测量和表面粗糙度分析

・可以在超高分辨率SEM观察视野中获得精确的3D形状数据。

・可以使用表面粗糙度分析功能计算JIS标准和ISO标准参数，例如Ra和Rz。 

◇加速电压低，分辨率高

・可以从100V以下进行观察，1kV时的分辨率达到了0.7nm的横向分辨率。

・通过采用半透镜方式，我们在 15 kV 下实现了 0.5 nm 的最大分辨率。 

◇彻底的污染对策

・采用干式泵（完全无油）以防止污染。 

◇联锁机构

・配备互锁机构，避免物镜与样品接触。

此外，标本室的CCD监视器作为标准配备。

＜SEM观察系统＞

＜三维测量系统＞