ERA-600SP
最大直径为 φ400 mm 的大型圆柱形样品可以直接安装在载物台上，可以进行从电子束观察到超精细 3D 形状测量和使用二次电子的元素分析的复合分析。 还安装了一个标准载物台，允许通过普通 SEM 观察进行 3D 分析。
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产品特点 联系我们
◇可以直接贴上最大直径400mm的样品，使用高分辨率电子束可以进行超精细的形状分析。
可贴上最大直径400mm的圆柱形试样，观察侧面（曲面），进行元素分析（选配）。
通过更换标准载物台，可以进行正常的高倍率和 3D 测量。
◇ 观察台（例）
我们根据样品的形状和大小建议定制腔室/载物台。
◇ 元素分析、晶向分析（可选）
・可追加元素分析、结晶方位分析等选项功能。
・除了标准的SEM图像和形状测量数据外，还可以在短时间内获得元素映射图像等各种信息。
・借助3D元素映射功能，可以分析纳米到微米级的涂层材料剥离和异物附着等元素的高度信息。
◇ 多种选择
多种选择
我们提供多种选择。 请联系我们。
● 各种样品架
●导航摄像头
●摇杆
● 3D元素映射
●各种涂布机
●能量色散X射线光谱仪（EDS）
●晶体取向分析仪（EBSP）
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主要规格 联系我们
高分辨率系统
标准系统
分辨率
1.2nm (30kV) 5nm (1kV)
3.5nm (35kV)
电子枪
ZrO/W 热场发射型
预先芯出钨丝
加速电压
0.3 ～ 30kV
0.3 ～ 35kV
倍率
20 ～ 600,000倍
10 ～ 400,000倍
（大型样品的实用倍率2000倍）
检测器
4个二次电子检测器
像観察
差信号凹凸强调二次电子像、和信号组成强调二次电子像、通常二次电子像
图像格式
BMP、JPG、TIFF、PNG
最大试样尺寸
关于试样尺寸请咨询。
（试样例：Φ400mm、t=20mm等）
最大试样重量
15kg（15公斤以上也可以咨询）
试样移动范围
根据试样尺寸。
（移动量示例）
Y400mm、T 0～45°
R 360°无尽的（电机驱动）
试样交换
大气释放型
选项
试样室CCD相机
能量色散 X 射线光谱仪
局部低真空机构