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我们发布了电子束光刻系统“ELS-HAYATE”
发布时间:2023-05-24

这是最新型号,具有业界最快的 400MHz 扫描时钟和业界最大的 5mm 视场尺寸。

此外,我们将实现高吞吐量的高质量绘图。
 

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这是最新型号,具有业界最快的400MHz扫描时钟和业界最大的5mm批量绘图视场尺寸,最大束流为800nA的大电流电子光学系统。 
 
此外,我们将实现高吞吐量的高质量绘图。