◇ 场发射三维粗糙度分析扫描电镜

终极高精度、高分辨率表面轮廓测量仪。

高分辨率SEM观察、样品表面形状测量、表面纹理参数计算仅需一台即可！ 获得日本精密工学技术学会奖。

◇ ERA系列能做什么？ 我们知道什么？

通常的SEM图像具有模糊的不均匀感，可以从图像可靠地确定不均匀度，还可以进行形状测量。

◇可获得多种表面纹理参数

・立体鸟瞰图

・等值线图

・可以获得JIS、ISO标准的表面纹理参数。

・通过将这些SEM画面、3D测量数据等与Windows兼容的文件服务器软件连接起来，可以有效地管理数据。 这大大提高了撰写论文和报告的效率。

◇世界上唯一的具有4个二次电子探测器的3D图像

・可以从样品中获得各种信息，例如可以可靠地确定不均匀性的独特二次电子图像和强调成分对比度的二次电子图像，与具有模糊不均匀感的普通 SEM 图像不同。 此外，还可以安装 EDS、EBSD 和 CL 等选项。

◇垂直和水平方向的高分辨率

・独创的二次电子信号处理技术在垂直和水平方向提供高分辨率，可以准确捕捉微小的表面形状。

◇操作性高

・易于使用的日语菜单・鼠标操作。

· 配备自动功能，操作方便。 此外，通过采用一体式单元，可以实时获得清晰的静止图像，从而可以在明亮的房间内进行观察和测量。

◇对样品的损伤小

・由于电子探针高速扫描和测量样品表面，因此不会损坏样品表面。

・照射电流量极小，为10pA以下，即使是容易受到光束损伤的样品也可以测量。

◇可维护性高

配备独特的长寿命电子源（肖特基型），几乎不需要日常维护。